[发明专利]一种用于汽车玻璃的光谱选择性ITO薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711345836.5 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108179389B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 胡益丰;尤海鹏;张锐;郭璇;朱小芹;邹华 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 陈书华 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于导电薄膜技术领域，尤其涉及一种用于汽车玻璃的光谱选择性ITO薄膜的制备方法。ITO薄膜的制备方法包括以下步骤：清洗PET基片；制备光谱选择性ITO薄膜前准备；采用室温磁控溅射方法制备光谱选择性ITO薄膜。本发明的光谱选择性ITO薄膜，在可见光波长段，能使反射率降低，透射率增加，可见度较好；在红外光波段，反射率增加，阻碍热量的传递。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱选择性 制备 汽车玻璃 反射率 红外光波段 可见光波长 磁控溅射 导电薄膜 透射率 清洗 传递 阻碍 | ||
【主权项】：
1.一种用于汽车玻璃的光谱选择性ITO薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洗PET基片；(2)制备光谱选择性ITO薄膜前准备：首先装好ITO溅射靶材，然后设定溅射功率、溅射Ar气的气流量与溅射气压；(3)采用室温磁控溅射方法制备光谱选择性ITO薄膜：①将空基托旋转到ITO靶位，打开ITO靶上的射频电源，依照设定的溅射时间，开始对ITO靶材表面进行溅射，清洁ITO靶材表面；②清洁ITO靶材的表面完毕，关闭ITO靶材上所施加的射频电源，将待溅射的基片旋转到ITO靶位，打开ITO靶位上的射频电源，依照设定的溅射时间，开始溅射ITO薄膜，直到薄膜达到预定厚度；所述ITO薄膜的厚度为20nm或10nm；所述ITO靶材是采用交流射频电源，溅射功率是25‑35W。
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