[发明专利]一种VGF法制备砷化镓晶体的装置及方法有效
| 申请号： | 201711346301.X | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108060454B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 刘留;王金灵;周铁军;廖斌 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/02 | 分类号： | C30B11/02;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种VGF法制备砷化镓晶体的装置及方法，该装置包括：VGF炉体，所述VGF炉体内部设有石英管和设置在所述石英管外侧加热器；所述石英管由上下两部分管体组成，其中上部管体的直径大于下部管体的直径；所述上部管体设有与所述上部管体的直径相匹配的第一PBN坩埚，所述下部管体设有与所述下部管体的直径相匹配的第二PBN坩埚；贯穿所述VGF炉体底部的支撑体；与所述支撑体相连的升降平台，所述升降平台设有与所述VGF炉体底部相连的所述旋转轴。本发明提供的VGF法制备砷化镓晶体的装置通过改进石英管结构，减少一次密封，并提高PBN坩埚的使用寿命，因此该装置稳定性好、长晶成品率高；同时通过改进VGF炉体结构，制备得到的砷化镓晶体长度大且缺陷少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vgf 法制 备砷化镓 晶体 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种VGF法制备砷化镓晶体的装置，包括：VGF炉体，所述VGF炉体内部设有石英管和设置在所述石英管外侧加热器；所述石英管由上下两部分管体组成，其中上部管体的直径大于下部管体的直径；所述上部管体设有与所述上部管体的直径相匹配的第一PBN坩埚，所述下部管体设有与所述下部管体的直径相匹配的第二PBN坩埚；贯穿所述VGF炉体底部的支撑体；与所述支撑体相连的升降平台，所述升降平台设有与所述VGF炉体底部相连的所述旋转轴。
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