[发明专利]脱硝催化剂的原子层沉积法再生工艺

摘要

本发明公开了一种脱硝催化剂的原子层沉积法再生工艺，包括如下步骤1）失活脱硝催化剂预处理；2）原子层沉积法植入活性物质。本发明采用原子层沉积技术补充活性物质，活性物质吸附在催化剂孔道内外，且与失活催化剂之间的作用力强，且在催化剂中分布均匀；还可通过控制原子沉积数，调控补充活性物质的量，植入的活性物质氧化钒和氧化钨精确可控，且抑制活性物质烧结，进而在脱硝反应中实现脱硝效率高、SO2氧化率低，且再生催化剂无需煅烧处理，整个过程对催化剂无损伤。

主权项

脱硝催化剂的原子层沉积法再生工艺，其特征在于，包括如下步骤：1）失活脱硝催化剂预处理：通过负压吸尘器除去失活脱硝催化剂表面的灰尘，然后将催化剂浸入包含0.06～0.09%乳酸、0.12～0.18%草酸的去离子水溶液中，以25～35HZ超声35～55min，取出后于125～145℃干燥35～85min；2）原子层沉积法植入活性物质：将步骤1）处理后的催化剂置入原子层沉积设备的反应腔中，密封反应腔；将原子层沉积系统内抽真空后通入高纯氮气，调节反应腔出口阀门使腔内压力处于负压，沉积温度设定在330～380℃；向反应腔内注入钒前驱体，注入时间控制在200～250s，然后通入惰性气体冲洗，冲洗时间控制在35～55s；循环沉积3～5次，得到再生脱硝催化剂；所述钒前驱体为三异丙氧醇钒、三异丙氧基氧化钒、乙酰丙酮氧化钒中的任意一种。