[发明专利]蒸镀机及其冷板结构

摘要

一种蒸镀机及其冷板结构，其中冷板结构用于与需要蒸镀的基板贴合，该冷板结构包括：冷板，冷板用于与基板贴合；静电产生组件，静电产生组件包括电荷产生单元、电荷传输单元以及电荷接收单元，电荷产生单元用于产生电荷，电荷产生单元与电荷传输单元连接，电荷传输单元与电荷接收单元连接，电荷传输单元用于传输电荷，电荷接收单元用于接收电荷并产生静电以使冷板静电吸附基板。上述蒸镀机及其冷板结构，在将冷板与基板贴合后，使电荷产生单元产生电荷，电荷接收单元存储电荷产生静电，使冷板静电吸附基板，从而使玻璃在静电的作用下，能够克服重力造成的自身下垂，使得蒸镀机的冷板和基板能够紧密贴合，减小混色不良的发生概率。

主权项

1.一种蒸镀机的冷板结构，用于与需要蒸镀的基板贴合，其特征在于，该冷板结构包括：冷板，所述冷板用于与所述基板贴合；静电产生组件，所述静电产生组件包括电荷产生单元、电荷传输单元以及电荷接收单元，所述电荷产生单元用于产生电荷，所述电荷产生单元与所述电荷传输单元连接，所述电荷传输单元与所述电荷接收单元连接，所述电荷传输单元用于传输电荷，所述电荷接收单元设置在所述冷板上，所述电荷接收单元用于接收电荷并产生静电以使所述冷板静电吸附所述基板。