[发明专利]电容型压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711350604.9 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109932105A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 潘革波;张龙;吴浩迪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容型压力传感器及其制备方法，所述电容型压力传感器包括底电极、顶电极、第一介电层、第二介电层及两个支撑部，所述第一介电层、第二介电层、两个支撑部均位于所述底电极与所述顶电极之间，所述两个支撑部位于所述底电极的两端，第一介电层、第二介电层分别位于两个支撑部之间且第一介电层位于第二介电层与顶电极之间，第二介电层的介电常数大于第一介电层的介电常数，第一介电层为空气层或薄膜。本发明提供的电容型压力传感器通过设置两层介电层，这样可以增加电容型压力传感器的介电常数，从而增加电容型压力传感器的电容值变化率，提升了电容型压力传感器的灵敏度和检测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 介电层 压力传感器 电容型 介电常数 底电极 顶电极 制备 支撑 电容值变化 支撑部位 灵敏度 空气层 薄膜 两层 检测 | ||
【主权项】：
1.一种电容型压力传感器，其特征在于，包括底电极、顶电极、第一介电层、第二介电层及两个支撑部，所述第一介电层、第二介电层、两个支撑部均位于所述底电极与所述顶电极之间，所述两个支撑部位于所述底电极的两端，所述第一介电层、所述第二介电层分别位于所述两个支撑部之间且所述第一介电层位于所述第二介电层与所述顶电极之间，所述第二介电层的介电常数大于所述第一介电层的介电常数，所述第一介电层为空气层或薄膜。
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