[发明专利]金属掩膜板有效
| 申请号： | 201711351734.4 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN107858645B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋谦 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属掩膜板，包括金属框架以及固定于所述金属框架上的第一金属掩膜板薄片与第二金属掩膜板薄片；将本发明的金属掩膜板应用于蒸镀制程时，首先使用第二金属掩膜板薄片制作第一OLED屏，所述第二金属掩膜板薄片使用一段时间并不再使用之后，将其从金属框架上取掉，使用第一金属掩膜板薄片制作第二OLED屏；由于本发明的金属掩膜板能够用于先后制作两种OLED屏，因此能够应对OLED面板厂连续开发两种OLED屏新品的需求，减少金属掩膜板交期对OLED屏开发速度的影响，另外采用本发明的金属掩膜板可以降低金属掩膜板的购买成本。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩膜板 金属框架 制作 金属掩膜 蒸镀 制程 开发 购买 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括金属框架(10)以及固定于所述金属框架(10)上的第一金属掩膜板薄片(20)与第二金属掩膜板薄片(30)；所述第一金属掩膜板薄片(20)的上表面与所述金属框架(10)的上表面齐平，所述第二金属掩膜板薄片(30)设于所述第一金属掩膜板薄片(20)上方；所述第一金属掩膜板薄片(20)上设有间隔设置的数个第一开口(211)；所述第二金属掩膜板薄片(30)上设有间隔设置的数个第二开口(31)；所述数个第一开口(211)分别与数个第二开口(31)相对应，并且所述第一开口(211)的尺寸大于所述第二开口(31)的尺寸；所述第二金属掩膜板薄片(30)焊接于金属框架(10)上，所述金属框架(10)上设有第二凹槽(12)，在所述第二金属掩膜板薄片(30)上对应于第二凹槽(12)的位置施加压力，能够使所述第二金属掩膜板薄片(30)断裂。
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