[发明专利]MIM电容器及其制作方法有效
| 申请号： | 201711352412.1 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108123038B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 南京溧水高新创业投资管理有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 李明香 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种MIM电容器及其制作方法。所述MIM电容器包括衬底、形成于所述衬底上的绝缘层、形成于所述绝缘层上的下电极结构、形成于所述下电极结构上的隔离层、贯穿所述隔离层的开口、形成于所述开口对应的下电极结构上方并延伸至所述隔离层上方的介质材料、形成于所述介质材料上的上电极结构、形成所述隔离层及所述上电极结构上的钝化层、贯穿所述钝化层及所述隔离层且对应所述下电极结构的第一接触孔、贯穿所述钝化层且对应所述上电极结构的第二接触孔、设置于所述钝化层上并经由所述第一接触孔电连接至所述下电极结构的第一引线结构、及设置于所述钝化层上并经由所述第二接触孔电连接所述上电极结构的第二引线结构。 | ||
| 搜索关键词： | mim 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京溧水高新创业投资管理有限公司，未经南京溧水高新创业投资管理有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711352412.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
