[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 201711352601.9 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109930113A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姚固;邹清华;段廷原;曾苏伟;王玉;李慧慧;栾梦雨;王欣竹;胡友元;吴新风;李菲;熊先江 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘敏;吴鹏 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置，包括：蒸发源，所述蒸发源具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴；和电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴之间的相对距离可调节。通过采用电磁感应加热器，蒸发喷嘴中产生涡流并快速审问，将堵塞的材料蒸发出去，能方便地解决有机材料在蒸发过程中蒸发喷嘴发生的堵塞现象。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 蒸发 电磁感应加热器 蒸镀装置 蒸发源 涡流 堵塞 壳体顶部 有机材料 蒸发过程 可调节 壳体 加热 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，包括：蒸发源，所述蒸发源具有壳体以及设置在该壳体顶部的多个蒸发喷嘴；和电磁感应加热器，该电磁感应加热器用于对所述蒸发喷嘴进行加热，其中该电磁感应加热器布置成与所述蒸发喷嘴之间的相对距离可调节。
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