[发明专利]大尺寸板条状光学元件的加工装置检测装置和加工方法有效
| 申请号： | 201711352614.6 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108177047B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 顿爱欢;邵建达;吴福林;徐学科;陈荣;许振其 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B55/02;B24B13/005;B24B49/12;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大尺寸板条状光学元件的加工装置、检测装置和加工方法，该装置包括该加工装置包括拼盘式工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置，该检测装置包括竖式干涉仪、电脑控制端以及可调承载车等部件，本发明实现了板条状光学元件拼盘式多件一次性加工，实现了上述拼盘的板条状光学元件整盘面形检测。该发明适用于大尺寸板条状光学元件的批量加工和检测，具有效率高，成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 检测装置 条状光学元件 大尺寸板 加工装置 拼盘 光学元件 板条状 一次性加工 电脑控制 工装夹具 批量加工 承载车 干涉仪 抛光机 检测 单轴 可调 盘面 竖式 加工 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸板条状光学元件的加工装置和检测装置，其特征在于该加工装置包括拼盘式工装夹具和标准单轴抛光机；该拼盘式工装夹具包括：紧固元件(1)、工件基板(2)和上盘机构(4)；待加工的板条状光学元件(3)粘合在所述的工件基板(2)上，该工件基板(2)与所述的上盘机构(4)通过紧固元件连接在一起；所述的检测装置包括：标准镜组件(5)、供待测整盘板条状光学元件(6)放置的可调承载车(7)、电脑控制端(8)、竖式干涉仪(9)、面形显示端(10)和工作台(11)；所述的标准镜组件(5)与所述的竖式干涉仪(9)自下而上固定连接并置于机架上配合使用，在所述的工作台(11)面上具有一个通孔，依次设置电脑控制端(8)、机架、面形显示端(10)，所述的竖式干涉仪(9)和标准镜组件(5)位于所述的通孔的上方，所述的竖式干涉仪(9)和面形显示端(10)分别与所述的电脑控制端(8)相连，所述的可调承载车(7)置于所述的工作台(11)面下所述的竖式干涉仪(9)下方。
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