[发明专利]模型独立的掠入射X射线反射率

摘要

本申请涉及模型独立的掠入射X射线反射率。用于通过GIXR将堆叠划分成子层并以数字P表示每个子层的组成来测量薄膜堆叠的性质的方法。数字P表示每层的组成。例如，整数可以表示纯材料，而分数值表示相邻的纯材料的混合物。随后使用该表示来拟合测量的数据，并且最佳拟合给出每个子层的材料组成的指示，并因此作为深度的函数。

主权项

1.一种测量薄膜堆叠的性质的方法，所述薄膜堆叠由已知的物理材料和所述物理材料之间的界面组成，所述方法包括：定义所述堆叠中的多个物理材料的有序列表，以及为每个物理材料定义相应定义的索引值，其中，所定义的索引值沿着所述有序列表单调递增或单调递减；针对一定范围的角度内的角度捕获强度的所测量的掠指数X射线反射率曲线；以及建立表示所述薄膜堆叠的N个子层(i)的阵列，所述子层的阵列的每个元素具有表示所述子层的组成的定义的参数Pj；拟合所述参数P_j，使得作为所述参数P_j的函数的相对于角度的所计算的掠入射X射线反射率曲线最准确地匹配相对于所述一定范围的角度内的角度的所测量的掠指数X射线反射率曲线，以获得拟合的参数以及，基于所述拟合的参数输出所述薄膜堆叠的组成的测量值；其中，所述参数Pj具有值，所述参数Pj的值被定义为：(a)当所述参数Pj具有所述定义的索引值之一时，表示相应的物理材料；以及(b)当所述值Pj位于一对定义的索引值之间时，表示所述一对索引值的物理材料的混合物的组成，随着所述组成从纯的第一物理材料变成纯的第二物理材料，Pj的值从一对中的第一物理材料的索引值单调变成所述一对中的另一物理材料的索引值。