[发明专利]一种端口平行张合的SU-8柔顺电热驱动微夹持器

摘要

本发明公开了一种端口平行张合的SU‑8柔顺电热驱动微夹持器，该微夹持器由驱动部分和夹持部分组成。其中，驱动部分由驱动器梁(1)、驱动器梭(2)和锚区域组成，锚区域由对称的锚区域a(4)和锚区域b(4’)组成；夹持部分由Z型梁结构连杆(3)以及左右两边完全对称的夹持器机构组成；夹持部分通过驱动器梭(2)和驱动部分固定连接。本微夹持器端口能够实现平行张合运动，能够更加容易地进行微小物体、细胞的操作；驱动器和夹持机构部分为整体结构，采用SU‑8整体加工，提高了夹持端口的位移；本微夹持器结构简单紧凑，易于微小化加工，提高了操作精度和可靠性。

主权项

一种端口平行张合的SU‑8柔顺电热驱动微夹持器，其特征在于：该微夹持器由驱动部分和夹持部分组成；其中，驱动部分由驱动器梁(1)、驱动器梭(2)和锚区域组成，锚区域由对称的锚区域a(4)和锚区域b(4’)组成；夹持部分由Z型梁结构连杆(3)以及左右两边完全对称的夹持器机构组成；夹持部分通过驱动器梭(2)和驱动部分固定连接；驱动器梭(2)分为上半部分和下半部分，驱动器梭(2)的下半部分通过驱动器梁(1)和锚区域固定连接，构成微夹持器的驱动部分；驱动器梭(2)的上半部分通过Z型梁结构连杆(3)与夹持器机构固定连接，夹持器机构固定连接在锚区域上，构成微夹持器的夹持部分；驱动器梁(1)为阵列布置的形式，阵列布置的驱动器梁(1)连同驱动器梭(2)和锚区域组成该微夹持器的驱动部分；该整体结构用SU‑8制成后，在驱动部分上下两面均溅射上铜层；阵列布置的驱动器梁(1)两端固定在驱动器梭(2)与锚区域a(4)之间以及驱动器梭(2)和锚区域b(4’)之间。