[发明专利]一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711360984.4 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN108220911B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;王兆龙;张斌;高凯雄;王永富;王彦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/513;C23C16/02 |
| 代理公司： | 62002 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 周瑞华 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法。本发明通过分形织构与碳基薄膜相结合的一体化技术，即利用激光加工技术实现织构图形的构筑；利用等离子增强化学气相沉积技术来实现碳基薄膜的沉积，通过两者的协同耦合作用，来实现高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备。本发明所制备的高压干气密封装置用的分形织构化碳膜具有超低摩擦系数、超低磨损、高承载能力、长寿命等优异的综合性能，可大幅度提高高压干气密封的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 分形 干气密封装置 织构化 碳膜 制备 碳基薄膜 织构 等离子增强化学气相沉积 超低摩擦系数 激光加工技术 高承载能力 一体化技术 干气密封 使用寿命 协同耦合 综合性能 长寿命 低磨损 沉积 构筑 | ||
【主权项】：
1.一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法，其特征在于将抛光好的基底依次用丙酮、无水乙醇、蒸馏水经超声波清洗5-15min，并用N
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院兰州化学物理研究所，未经中国科学院兰州化学物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711360984.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
