[发明专利]电子产品制造装备

摘要

本发明属于电子产品生产技术领域，具体涉及一种电子产品制造装备；包括机架和用于支撑晶圆的支撑台，还包括推顶机构、液压缸、液压活塞和用于使液压活塞在液压缸内往复移动的推拉部，液压缸连接在机架上；支撑台上设有若干顶出孔；推顶机构包括至少两个推顶单元，推顶单元包括推顶杆、推拉活塞、活塞杆和活塞缸；每个推顶杆的横截面积不同，较小横截面积的推顶杆滑动连接在较大横截面积的推顶杆内，较大横截面积的推顶杆可带动较小横截面积的推顶杆一起贯穿顶出孔，且所有推顶杆用于顶出芯片的端部齐平。本方案在顶出芯片的时候，能针对不同尺寸的芯片使用不同尺寸的推顶杆，避免人工更换推顶杆工序，提高生产效率。

主权项

1.电子产品制造装备，包括机架和用于支撑晶圆的支撑台，其特征在于：还包括推顶机构、液压缸、液压活塞和用于使液压活塞在液压缸内往复移动的推拉部，所述液压缸连接在机架上；所述支撑台上设有若干顶出孔；所述推顶机构包括至少两个推顶单元，所述推顶单元包括推顶杆、推拉活塞、活塞杆和活塞缸；所述活塞杆一端与推顶杆连接，活塞杆另一端与推拉活塞连接；所述推拉活塞滑动连接在活塞缸内，且推拉活塞与活塞缸之间连接有复位件；所述活塞缸与所述液压缸连通，且活塞缸上设有电磁阀；每个推顶杆的横截面积不同，较小横截面积的推顶杆滑动连接在较大横截面积的推顶杆内，较大横截面积的推顶杆可带动较小横截面积的推顶杆一起贯穿所述顶出孔，且所有推顶杆用于顶出芯片的端部齐平。