[发明专利]一种用于曲面结构成形的激光刻蚀方法及装置在审
| 申请号： | 201711369382.5 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN108031981A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 贺斌;赵卫;黄江波;田东坡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/12;B23K26/70;G05D5/00;G05D5/03 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于激光加工技术领域，特别涉及一种用于曲面结构成形的激光刻蚀方法及装置。首先，将需去除材料划分为主体区及壳体区，在主体区及壳体区选取特征点；然后，根据所要加工曲面的三维结构特征，采用梯度式分层刻蚀方法对主体区进行刻蚀；刻蚀至特征点位置时，测量特征点的坐标，当主体区所有特征点的测量坐标与理论坐标的误差在设定范围内时，结束主体区的加工，进入壳体区加工；最后，根据所要加工曲面的三维结构特征，采用精细三维扫描方法对壳体区进行刻蚀加工；刻蚀至特征点位置时，测量特征点的坐标，当所有特征点的测量坐标与理论坐标差值的平均值小于设定值时，结束壳体区的加工。在曲面结构成形过程中保证了精度并提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 曲面 结构 成形 激光 刻蚀 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于曲面结构成形的激光刻蚀方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将需去除材料划分为主体区及壳体区，在主体区及壳体区选取特征点；步骤二：根据所要加工曲面的三维结构特征，采用梯度式分层刻蚀方法对主体区进行刻蚀；步骤三：刻蚀至特征点位置时，测量特征点的坐标，当主体区所有特征点的测量坐标与理论坐标的误差在设定范围内时，结束主体区的加工，进入壳体区加工；步骤四：根据所要加工曲面的三维结构特征，采用精细三维扫描方法对壳体区进行刻蚀加工；步骤五：刻蚀至特征点位置时，测量特征点的坐标，当所有特征点的测量坐标与理论坐标差值的平均值小于设定值时，结束壳体区的加工。
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