[发明专利]一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711369590.5 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108196329B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 马丽惟;贺建良 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/14 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 陈星 |
| 地址： | 471099 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法，该制备方法通过在金属表面沉积多层高硬度介质膜，解决金属膜环境可靠性低的难题，实现极高反射率反射膜制备，提高反射镜的环境可靠性，延长反射镜的使用寿命。本发明采用电子束蒸镀膜层，先在反射镜表面蒸镀一层结合层，再蒸镀一层金属反射层，最后沉积多层高硬度介质增强膜。本发明通过在金属膜表面沉积多层高硬度介质增强膜，既提高反射镜的反射率，又改善反射镜的环境可靠性。采用本发明制备的反射镜在3～5μm波段的平均反射率为99.5％，本发明镀制的反射膜的环境可靠性均满足光学薄膜国家军用标准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 中波 红外 介质 增强 金属 高反膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种中波红外介质增强金属高反膜的制备方法，其特征在于：先在反射镜表面蒸镀一层结合层，再蒸镀一层金属反射层，最后蒸镀多层介质增强膜。
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