[发明专利]一种基于四象限光电探测器的监测微镜的方法有效
| 申请号： | 201711371165.X | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108063102B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 程翔;孙兴林;刘岩 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 35200 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基于四象限光电探测器的监测微镜的方法，涉及四象限光电探测器。整个监测系统由微镜、四象限光电探测器、光源构成一个闭环系统；根据需要，微镜受到驱动后产生一个位置变化，驱动过程受到扰动，得到微镜位置；得到的微镜位置跟实际需要的位置存在差距，当前的位置变化通过光线的反射使芯片上的四象限光电探测器产生四路输出电压，通过处理四象限光电探测器产生四路输出电压精确得到微镜的位置，与预期想要得到的位置进行对比，矫正微镜的驱动，即得到更加精确的位置。可实现利用FQPD对微镜的位移和偏转角度进行同时监测，使两者的输出的线性区间都尽可能最大，易于控制，结果处理简便、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 象限 光电 探测器 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于四象限光电探测器的监测微镜的方法，其特征在于包括以下步骤：/n1)整个监测系统由微镜、四象限光电探测器、光源构成一个闭环系统；所述四象限光电探测器为四个相同的光电二极管，接收微镜反射回来的光线并产生光电流，实现光电转换；/n2)根据需要，微镜受到驱动后产生一个位置变化，驱动过程受到扰动，得到微镜位置；/n3)得到的微镜位置跟实际需要的位置存在差距，当前的位置变化通过光线的反射使芯片上的四象限光电探测器产生四路输出电压，通过处理四象限光电探测器产生四路输出电压精确得到微镜的位置，与预期想要得到的位置进行对比，矫正微镜的驱动，即得到更加精确的位置。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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