[发明专利]金属复合材料制备装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201711371285.X | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108060393A | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张晓琨;闫宗楷 | 申请（专利权）人： | 成都亦道科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01M4/36;H01M4/583;H01M4/62 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610213 四川省成都市天府新区天府大道*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及锂电池领域，特别涉及一种金属复合材料制备装置及其制备方法，所述金属复合材料制备装置包括沉积腔体和独立设置于所述沉积腔体内的基台及多个独立设置且气压可调的蒸发腔；所述蒸发腔内设置有放置蒸料的蒸发位，所述基台上用于放置待沉积基底，所述蒸料由蒸发位蒸发并沉积在所述待沉积基底之上。所述制备方法中，通过调节蒸发腔的气体排出速率与所述蒸发位的蒸发速率，使原子由蒸发腔进入沉积腔体内，并于以所需沉积速率在基底上沉积。基于上述方法可提高多元材料共蒸发的可控性，从而更精准地控制金属或金属化合物蒸料的蒸发速率，以提高所述蒸发沉积的沉积物中蒸料比例范围及蒸发沉积的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 复合材料 制备 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属复合材料制备装置，其特征在于：所述金属复合材料制备装置包括沉积腔体和独立设置于所述沉积腔体内的基台和多个独立设置的蒸发腔；所述蒸发腔内设置有放置蒸料的蒸发位，所述基台上用于放置待沉积基底，所述蒸料由蒸发位蒸发并沉积在设于所述待沉积基底之上；所述金属复合材料制备装置还包括与蒸发腔连接的气压调节装置，所述气压调节装置用以从所述蒸发腔内排出气体。
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