[发明专利]一种基于激光直写技术的微液滴操控方法有效
| 申请号： | 201711371800.4 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN107937915B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王萌;邢飞;郭传飞;刘前;阮双琛 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学（筹） |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23F1/38;B82Y40/00;B05D7/00;B05D5/00;B23K26/00;B23K26/354 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于激光直写技术的微液滴操控方法，其中，包括步骤：将沉积在基底上的Ti薄膜与NaOH水溶液反应生成具有多孔粗糙结构的Ti薄膜，然后在Ti薄膜上修饰一层氟硅烷，得到超疏水薄膜，最后采用激光直写技术在超疏水薄膜表面制作各种形状的图案，通过所述图案对超疏水薄膜上的微液滴进行操控。激光的高温作用使得图案部位超疏水多孔表面融化，改变其粗糙度，从而使得图案部位与超疏水薄膜未进行激光加工部位形成润湿性反差，因此可通过设计不同的图案对微液滴进行形状控制、定向驱动以及收集等操作；进一步地，本发明采用的激光直写技术加工分辨率高，灵活性强，可实现对纳升量级别的微液滴进行操控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 技术 微液滴 操控 方法 | ||
【主权项】：
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