[发明专利]一种钛基及钽基金属材料的表面改性方法及其产品和用途有效
| 申请号： | 201711372004.2 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108070860B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 任富增;朱明余;张锐 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;C23F1/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种钛基及钽基金属材料的表面改性方法及其产品和用途，所述表面改性方法包括如下步骤：(1)预处理：钛基或钽基金属材料进行抛光至具有镜面光泽；(2)光刻：将步骤(1)抛光后的表面涂覆光刻胶层，固化后，曝光进行光刻，显影；(3)ICP或RIE刻蚀：将步骤(2)显影后的基体放入ICP或RIE腔内，用刻蚀气体进行刻蚀，除去所述光刻胶层，得到表面具有纳米拓扑结构的医用金属材料。拓扑形貌可控，方法操作简单，不用SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 基金 材料 表面 改性 方法 及其 产品 用途 | ||
【主权项】：
1.一种钛基及钽基金属材料的表面改性方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)预处理：将钛基或钽基金属材料进行抛光至具有镜面光泽；(2)光刻：将步骤(1)抛光后的表面涂覆光刻胶层，固化后，曝光进行光刻，显影；(3)ICP刻蚀：将步骤(2)显影后的基体放入ICP或RIE腔内，用刻蚀气体进行刻蚀，除去所述光刻胶层，得到表面具有纳米拓扑结构的医用金属材料。
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