[发明专利]一种[WS2/(100-x)WS2-xWCN]n梯度复合润滑涂层及其制备方法

摘要

本发明公开一种[WS₂/（100‑x）WS₂‑xWCN]_n梯度复合润滑涂层及其制备方法，采用直流磁控溅射法在基底表面制备[WS₂/（100‑x）WS₂‑xWCN]_n梯度复合润滑涂层，包括：预处理；离子轰击清洗；重复单元涂层制备，依次重复沉积WS₂涂层与WS₂‑WCN复合涂层，得到金属基底[WS₂/（100‑x）WS₂‑xWCN]_n梯度复合润滑涂层，其中重复单元涂层数为n，2≤n≤20，x为WS₂‑WCN复合层中WCN的质量百分数，0＜x＜100，x值顺序递减或递增。

主权项

1.一种[WS₂/（100‑x）WS₂‑xWCN]_n梯度复合润滑涂层，包括金属基底，依次交替沉积的WS₂涂层、WS₂‑WCN混合涂层，所述WS₂涂层、WS₂‑WCN混合涂层构成一个重复单元涂层，所述重复单元涂层的数量为n，2≤n≤20，其中x为WCN在混合层中的质量百分比，0＜x＜100；其特征在于，从远离基底方向上，所述重复单元涂层中，WCN在混合层中的质量百分比顺序递增或递减；所述重复单元涂层的厚度为50‑70nm，所述梯度复合润滑涂层总的厚度为0.5‑1.5μm；在所述金属基底与所述梯度复合润滑层之间存在热膨胀系数介于之间的过渡金属涂层；所述过渡金属涂层为Ti层或Cr层，所述过渡金属涂层的厚度为50‑200nm。