[发明专利]一种超声驱动宏微复合运动平台

摘要

本发明提出了一种结合了直线驱动器与超声致动驱动器的宏微复合运动平台。通过直线驱动器实现运动平台从运动开始到定位开始的中间过程的大行程上的宏运动，而在最终的小行程的微进给定位运动中，通过超声致动驱动器实现最终的高精度定位。通过二者的结合，不仅解决了超声致动驱动器在大行程上速度较慢的缺点，也克服了直线电机在高定位精度要求的情况下定位精度不足的缺陷。

主权项

一种超声驱动宏微复合运动平台，其特征在于，所述运动平台包括：机座、直线导轨、导轨滑块、直线驱动器、工作台、超声致动驱动器、位移检测装置和柔性铰链；所述直线导轨固定在所述机座上；所述导轨滑块设置于所述直线导轨上，并能够在所述直线导轨上滑动；所述直线驱动器驱动所述工作台进行直线运动；所述超声致动驱动器安装在所述导轨滑块上，并通过所述柔性铰链与所述工作台连接；所述超声驱动器包括：超声致动装置和运动切换单元；所述超声致动装置利用压电材料的逆压电效应，通过改变装置输入的电压，实现装置的超声振动；所述运动切换单元用于实现将所述超声致动装置的超声高频振动转化为沿直线导轨方向上的进给运动；所述位移检测装置用于实时反馈所述工作台的位置；所述柔性铰链通过弹性变形在精密定位的微运动中驱动所述工作台运动。