[发明专利]一种溅射旋转银靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201711374784.4 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108085675A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 肖世文;周志宏;沈艳斌 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 宋静娜;郝传鑫 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射旋转银靶材的制备方法，所述方法为：采用冷喷涂方法制备溅射旋转银靶材；基管为不锈钢管或钛管；喷涂用白银粉，所述白银粉的纯度不小于99.99％，所述白银粉的粉体粒度为15～100μm；冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2.5～10mpa，温度为25℃；工作气加热到200～600℃，增压至2.5～10mpa；采用惰性气体或洁净空气为工作气，工作气流量为20‑60m3/h；所得靶材的靶材密度为98～99％，所得靶材的纯度不小于99.95％，所得靶材的含氧量不大于1000ppm。本发明所述制备方法具有所得靶材高质量、大尺寸、旋转靶、基材加工简单、可方便回收重复使用等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 制备 银靶材 溅射 工作气 工作气流量 冷喷涂喷嘴 不锈钢管 惰性气体 粉体粒度 工作气压 基材加工 洁净空气 含氧量 进口处 冷喷涂 旋转靶 增压 喷涂 基管 钛管 加热 回收 | ||
【主权项】：
1.一种溅射旋转银靶材的制备方法，其特征在于，所述方法为：采用冷喷涂方法制备溅射旋转银靶材；基管为不锈钢管或钛管；喷涂用白银粉，所述白银粉的纯度不小于99.99％，所述白银粉的粉体粒度为15～100μm；冷喷涂喷嘴进口处工作气压力为2.5～10mpa，温度为25℃；工作气加热到200～600℃，增压至2.5～10mpa；采用惰性气体或洁净空气为工作气，工作气流量为20-60m3 /h；所得靶材的靶材密度为98～99％，所得靶材的纯度不小于99.95％，所得靶材的含氧量不大于1000ppm。
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