[发明专利]集成式传感器在审
| 申请号： | 201711377996.8 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108225413A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 胡启俊;闫文明;于文秀 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;王迎 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种集成式传感器，包括基底、惯性模块和测压模块；惯性模块包括固定部、位于固定部内侧并可相对于固定部活动的活动部；在基底的表面设置有与活动部相对的检测电极；基底和活动部之间具有第一间隙；测压模块包括压力感应膜和设置在压力感应膜上的压敏电阻；压力感应膜设置在惯性模块远离基底的一侧，与惯性模块之间具有第二间隙；惯性模块和测压模块共用同一真空腔；活动部位于真空腔内；压力感应膜的内侧面面向真空腔。真空腔与外界环境隔离，既可以作为测压模块基础形变的确定基准，又可以保证惯性模块的活动部的运动特性不会因为外界气体阻尼而影响、保证惯性测量的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性模块 压力感应膜 活动部 真空腔 测压 基底 固定部 集成式传感器 表面设置 惯性测量 活动部位 基础形变 检测电极 模块共用 外界环境 外界气体 压敏电阻 运动特性 保证 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种集成式传感器，包括基底(11)、惯性模块(12)和测压模块(13)；所述惯性模块(12)包括固定部(121)、位于所述固定部(121)内侧并相对于所述固定部(121)活动的活动部(122)；在所述基底(11)和所述活动部(122)之间具有第一间隙；所述测压模块(13)包括压力感应膜(131)和设置在所述压力感应膜(131)上的压敏电阻(132)；其特征在于：所述压力感应膜(131)设置在所述惯性模块(12)远离所述基底(11)的一侧，与所述惯性模块(12)之间具有第二间隙；所述惯性模块(12)和所述测压模块(13)共用一个真空腔(14)；所述活动部(122)位于所述真空腔(14)内；所述压力感应膜(131)的内侧面面向所述真空腔(14)。
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