[发明专利]一种悬膜光纤声波传感器及其制备方法有效
申请号: | 201711381012.3 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108132093B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 黄辉;渠波;蔡伟成;徐思宇 | 申请(专利权)人: | 黄辉;渠波;蔡伟成 |
主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00 |
代理公司: | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人: | 林建军 |
地址: | 116024 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种悬膜光纤声波传感器及其制备方法。本发明的一种悬膜光纤声波传感器,包括光纤、光纤器件、套筒、悬膜,所述光纤连接在所述光纤器件上,所述光纤器件设置在所述套筒的内壁上,所述悬膜设置在所述套筒的端面上,所述悬膜上设置有局部减薄区域,所述光纤器件射出的出射光束正对着所述悬膜上的所述局部减薄区域,所述悬膜上的所述局部减薄区域将所述出射光束的反射光束反射到所述光纤器件上。其有益效果是:本发明的悬膜光纤声波传感器采用局部减薄的悬膜结构,打破了现有技术中悬膜尺寸需要大于光纤器件的尺寸的制约,实现了传感器的高频响应,从而具有高频、高灵敏度、高可靠性且低成本的优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 声波 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种悬膜光纤声波传感器,包括光纤、光纤器件、套筒和悬膜,其特征在于:所述光纤连接在所述光纤器件上,所述悬膜上设置有局部减薄区域,所述光纤器件射出的出射光束正对着所述悬膜上的所述局部减薄区域,所述悬膜上的所述局部减薄区域将所述出射光束的反射光束反射到所述光纤器件上。
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