[发明专利]吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法有效
| 申请号： | 201711382784.9 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109946261B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 魏广路;鲁远甫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581;G02B26/08 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置及其制备方法，制备方法包括：提供衬底，在所述衬底上制作形成支撑层；在所述支撑层上制作形成热敏层；在所述支撑层和所述热敏层上制作形成导电层；在所述热敏层上制作形成吸收层；在所述衬底的背向所述吸收层的表面上制作通光孔；提供基座和可动反射镜，将所述可动反射镜安装于所述基座上；将所述基座与所述衬底固定连接，使得所述吸收层与所述可动反射镜的反射面平行对准。本发明公开的制备方法，工艺简单，将探测器和调谐波长的可动反射镜分离开，可使得探测装置的探测范围覆盖整个太赫兹波段，同时新的薄膜工艺有助于提高探测率，降低热响应时间常数。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收 波长 可调 赫兹 探测 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种吸收波长可调的太赫兹波探测装置的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底(31)，在所述衬底(31)上制作形成支撑层(32)；在所述支撑层(32)上制作形成热敏层(33)；在所述支撑层(32)和所述热敏层(33)上制作形成导电层；在所述热敏层(33)上制作形成吸收层(34)；在所述衬底(31)的背向所述吸收层(34)的表面上制作通光孔(31a)；将可动反射镜(20)的基座(10)与所述衬底(31)固定连接，使得所述吸收层(34)与所述可动反射镜(20)的反射面对准。
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