[发明专利]蓝光和紫外光LED芯片的制备方法有效
申请号: | 201711382967.0 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108054249B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 冉文方 | 申请(专利权)人: | 西安智盛锐芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/48;H01L33/50 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 黄晶晶 |
地址: | 710075 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种蓝光和紫外光LED芯片的制备方法,该制备方法包括:(a)选取蓝宝石衬底;(b)在所述蓝宝石衬底上表面制作蓝光外延层;(c)在所述蓝光外延层中制作紫外光灯芯槽;(d)在所述紫外光灯芯槽中制作紫外光外延层;(e)在所述蓝光外延层与所述紫外光外延层上制作电极。本发明提供的蓝光和紫外光LED芯片的制备方法,可以在单芯片能产生多种颜色的光,荧光粉的用量较少;此外,该制备工艺相对简单,可行性高。 | ||
搜索关键词: | 光和 紫外光 led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种蓝光和紫外光LED芯片的制备方法,其特征在于,包括:(a)选取蓝宝石衬底;(b)在所述蓝宝石衬底上表面制作蓝光外延层;(c)在所述蓝光外延层中制作紫外光灯芯槽;(d)在所述紫外光灯芯槽中制作紫外光外延层;(e)在所述蓝光外延层与所述紫外光外延层上制作电极。
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