[发明专利]显影设备及其显影液供应系统在审
| 申请号： | 201711383928.2 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108121174A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李培宏 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影设备及其显影液供应系统，其中，所述显影液供应系统包括：储液容器，包括进液口和出液口，用于储存第一显影液；第一管道，连接所述喷淋头和所述出液口，所述第一管道上设置有动力泵，所述动力泵将第一显影液通过所述第一管道输送至所述喷淋头；第二管道，连接到所述进液口，用于向所述储液容器补充第二显影液；第三管道，连通所述第一管道和所述第二管道，用于将第一显影液输送至所述第二管道，以使第二显影液与第一显影液在所述第二管道中混合后再输入到所述储液容器。本发明提供的显影液供应系统可以提高新补给的显影液与原有显影液相互混合的均匀性，提升显影工艺的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 第二管道 第一管道 供应系统 储液容器 显影设备 出液口 动力泵 进液口 喷淋头 显影工艺 均匀性 连通 补给 储存 补充 | ||
【主权项】：
一种显影液供应系统，用于向显影设备的喷淋头供应显影液，其特征在于，所述显影液供应系统包括：储液容器，包括进液口和出液口，用于储存第一显影液；第一管道，连接所述喷淋头和所述出液口，所述第一管道上设置有动力泵，所述动力泵将第一显影液通过所述第一管道输送至所述喷淋头；第二管道，连接到所述进液口，用于向所述储液容器补充第二显影液；第三管道，连通所述第一管道和所述第二管道，用于将第一显影液输送至所述第二管道，以使第二显影液与第一显影液在所述第二管道中混合后再输入到所述储液容器。
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