[发明专利]一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置及其烧结方法

摘要

本发明公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置，包括底座、转盘、制靶室、电热元件和供氧装置，转盘设置于底座顶部，制靶室设置于转盘顶部，转盘能够带动制靶室转动，电热元件设置于制靶室内部，电热元件由制靶室的底部延伸到制靶室的顶部，供氧装置用于向制靶室内部充入氧气；本发明在管状ITO靶材的高温离心烧结装置的基础上还公开了一种管状ITO靶材的高温离心烧结方法，包括混分原料的配置，处理和置于制靶室内部进行烧结成型，烧结过程中开启转盘，电热元件和供氧装置，最后在离心力作用下原料在制靶室侧壁上烧结成型；本发明能够成型大尺寸靶材，并且极大的提高了出品率和良品率。

主权项

1.一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置，其特征在于：包括底座、转盘、制靶室、电热元件和供氧装置，所述转盘设置于所述底座顶部，所述制靶室设置于所述转盘顶部，所述转盘能够带动所述制靶室转动，所述电热元件设置于所述制靶室内部，所述电热元件由所述制靶室的底部延伸到所述制靶室的顶部，所述供氧装置用于向所述制靶室内部充入氧气。