[发明专利]一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法有效

专利信息
申请号: 201711385055.9 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN108122814B 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 邬新根;刘英策;李俊贤;吴奇隆;汪洋;刘兆 申请(专利权)人: 江西乾照光电有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683;H01L33/00
代理公司: 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 代理人: 唐绍烈
地址: 330100 江西省南*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法,该分选转移方法包括:提供一待处理LED芯片,LED芯片包括衬底以及设置在衬底上的多个LED芯粒;将待处理LED芯片分割为多个LED模块,将LED模块置于蓝膜表面;对蓝膜进行加温扩张;在LED模块背离蓝膜的一侧固定一透明基板;去除蓝膜;将透明基板分割为多个第二基板;获取满足质量条件的LED模块的坐标信息;基于坐标信息,通过移动第二基板,将满足质量条件的LED模块转移到目标基板上,去除LED模块背离目标基板一侧的第二基板。本发明技术方案提供的LED芯片中LED芯粒的分选转移方法可以快速实现LED芯片中LED芯粒的分选转移。
搜索关键词: 一种 led 芯片 分选 转移 方法
【主权项】:
一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法,其特征在于,所述分选转移方法包括:提供一待处理LED芯片,所述LED芯片包括衬底以及设置在所述衬底上的多个LED芯粒;将所述待处理LED芯片分割为多个LED模块,将所述LED模块置于蓝膜表面,分割后,所述衬底形成多个第一基板,每个LED模块具有相对固定的一个所述第一基板以及一个所述LED芯粒;对所述蓝膜进行加温扩张,以增大位于所述蓝膜表面的所述LED模块的间距;在所述LED模块背离所述蓝膜的一侧固定一透明基板;去除所述蓝膜;将所述透明基板分割为多个第二基板,每个所述第二基板对应固定有一个所述LED模块;获取满足质量条件的LED模块的坐标信息;基于所述坐标信息,通过移动所述第二基板,将满足质量条件的LED模块转移到目标基板上,去除所述LED模块背离所述目标基板一侧的第二基板。
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