[发明专利]一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法有效
申请号: | 201711385055.9 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108122814B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 邬新根;刘英策;李俊贤;吴奇隆;汪洋;刘兆 | 申请(专利权)人: | 江西乾照光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 | 代理人: | 唐绍烈 |
地址: | 330100 江西省南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法,该分选转移方法包括:提供一待处理LED芯片,LED芯片包括衬底以及设置在衬底上的多个LED芯粒;将待处理LED芯片分割为多个LED模块,将LED模块置于蓝膜表面;对蓝膜进行加温扩张;在LED模块背离蓝膜的一侧固定一透明基板;去除蓝膜;将透明基板分割为多个第二基板;获取满足质量条件的LED模块的坐标信息;基于坐标信息,通过移动第二基板,将满足质量条件的LED模块转移到目标基板上,去除LED模块背离目标基板一侧的第二基板。本发明技术方案提供的LED芯片中LED芯粒的分选转移方法可以快速实现LED芯片中LED芯粒的分选转移。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 分选 转移 方法 | ||
【主权项】:
一种LED芯片中LED芯粒的分选转移方法,其特征在于,所述分选转移方法包括:提供一待处理LED芯片,所述LED芯片包括衬底以及设置在所述衬底上的多个LED芯粒;将所述待处理LED芯片分割为多个LED模块,将所述LED模块置于蓝膜表面,分割后,所述衬底形成多个第一基板,每个LED模块具有相对固定的一个所述第一基板以及一个所述LED芯粒;对所述蓝膜进行加温扩张,以增大位于所述蓝膜表面的所述LED模块的间距;在所述LED模块背离所述蓝膜的一侧固定一透明基板;去除所述蓝膜;将所述透明基板分割为多个第二基板,每个所述第二基板对应固定有一个所述LED模块;获取满足质量条件的LED模块的坐标信息;基于所述坐标信息,通过移动所述第二基板,将满足质量条件的LED模块转移到目标基板上,去除所述LED模块背离所述目标基板一侧的第二基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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