[发明专利]流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置与方法在审
| 申请号： | 201711385424.4 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108036141A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘现营 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/00 | 分类号： | F16L55/00;F15D1/10 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置与方法。流体在管道内流动时，遇到横截面形状与/或面积变化，会产生紊流。利用这种现象，在管道外设置横截面形状与/或面积调节装置，产生紊流，流体质点相互掺混均匀；流体管路常需要把流量调小，目前技术是把流量调节阀串联进管路中，在半导体加工设备的流体管路中，阀动作调节流量时，会摩擦产生很多微小颗粒物混入流体，影响加工质量，就用特别好非常贵的材料做阀，减少颗粒物产生，增加了成本。本发明在塑胶管道上套一个挤压装置，把塑胶管挤变形横截面积变小，可以产生紊流均质，也可以调节流量，并且本装置在管外不会产生颗粒物混入流体，简洁可靠，降低成本，提高设备加工品质。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 塑胶 产生 紊流 外流 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.流体在塑胶管内产生紊流与管外流量调节装置，其特征是：包括挤压装置和塑胶管，挤压装置嵌套在塑胶管上，可以把塑胶管挤压变形并保持变形不能回复原状，流体在塑胶管内流通。
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