[发明专利]一种CIGS薄膜预处理的系统及方法

摘要

本发明提供一种CIGS薄膜预处理的系统，该系统包括：射频电源、电感线圈、工艺腔室、适配模块、阴极板和石英罩。所述电感线圈环绕设置于所述工艺腔室的顶部，所述工艺腔室的底部设置有阴极板，并在所述电感线圈与所述阴极板之间设置衬底。射频电源包括：第一功率电源和第二功率电源，第一功率电源通过适配模块对电感线圈供电，第二功率电源通过适配模块对阴极板供电。在所述射频电压的作用下，所述电感线圈形成的射线透过所述石英罩进入所述工艺腔室，使所述工艺腔室内的工艺气体形成等离子体，所述等离子体在电压作用下向所述阴极板方向运动，并轰击在衬底上CIGS薄膜的凹凸不平处，使CIGS薄膜平整。本发明能太阳能电池的吸收率和稳定性。

主权项

一种CIGS薄膜预处理的系统，其特征在于，包括：射频电源、电感线圈、工艺腔室、适配模块、阴极板和石英罩；所述电感线圈环绕设置于所述工艺腔室的顶部，所述工艺腔室的底部设置有阴极板，并在所述电感线圈与所述阴极板之间设置衬底；所述射频电源包括：第一功率电源和第二功率电源，所述第一功率电源通过所述适配模块对所述电感线圈供电，所述第二功率电源通过所述适配模块对所述阴极板供电，其中，第一功率大于第二功率；所述适配模块用于调节所述电感线圈和所述阴极板的电流，以形成射频电压，并使所述电感线圈产生指定频率的射线；在所述射频电压的作用下，所述电感线圈形成的射线透过所述石英罩进入所述工艺腔室，使所述工艺腔室内的工艺气体形成等离子体，所述等离子体在电压作用下向所述阴极板方向运动，并轰击在衬底上CIGS薄膜的凹凸不平处，使所述CIGS薄膜平整。