[发明专利]一种基板切割系统自动清尘装置在审
申请号: | 201711386483.3 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN109940688A | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 王林 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B26D7/18 | 分类号: | B26D7/18 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214028 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基板切割系统自动清尘装置,包括粉尘沉聚箱,粉尘沉聚箱设置切割工作台的底部,切割工作台位于切割后基板的上方设置有真空吸尘盖,真空吸尘盖的顶部通过汇流板安装有吹气电磁阀,吹气电磁阀通过设置在真空吸尘盖内部的管路与吹气装置相连,吹气装置与设置在真空吸尘盖上的气孔配合安装;切割工作台内设置有吸气装置,切割工作台通过气管穿过粉尘沉聚箱与粉尘收集箱连接,粉尘收集箱的顶部设置有排气孔。本发明结构简单,实现粉尘自动清理和回收,工作台表面未残留粉尘,产品无切割粉尘残留,降低人为性清洁工作量,保护人体健康。 | ||
搜索关键词: | 切割工作台 真空吸尘 粉尘 基板切割系统 自动清尘装置 吹气电磁阀 粉尘收集箱 吹气装置 切割 工作台表面 清洁工作量 顶部设置 粉尘残留 配合安装 人体健康 吸气装置 自动清理 后基板 汇流板 排气孔 人为性 气管 残留 穿过 回收 | ||
【主权项】:
1.一种基板切割系统自动清尘装置,其特征在于,包括粉尘沉聚箱(1),所述粉尘沉聚箱(1)设置切割工作台(2)的底部,所述切割工作台(2)位于切割后基板的上方设置有真空吸尘盖(3),所述真空吸尘盖(3)的顶部通过汇流板(4)安装有吹气电磁阀(5),所述吹气电磁阀(5)通过设置在真空吸尘盖(3)内部的管路与吹气装置(6)相连,所述吹气装置(6)与设置在真空吸尘盖(3)上的气孔配合安装;所述切割工作台(2)内设置有吸气装置(7),所述切割工作台(2)通过气管穿过粉尘沉聚箱(1)与粉尘收集箱(8)连接,所述粉尘收集箱(8)的顶部设置有排气孔。
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