[发明专利]化学浴沉积装置及其沉积方法、废液回收系统

摘要

本发明提供了一种化学浴沉积装置及其沉积方法、废液回收系统，化学浴沉积装置包括硫化镉反应槽、废液储存槽、制冷装置、过滤装置、化学液储存槽和补充供药装置；废液储存槽的进液口与硫化镉反应槽的出液口相连；废液储存槽的出液口与制冷装置的进液口相连；制冷装置的出液口与过滤装置的进液口相连；过滤装置的出液口与化学液储存槽的进液口相连；补充供药装置用于向化学液储存槽补入化学品；化学液储存槽的出液口与硫化镉反应槽的进液口相连。本发明提供的化学浴沉积装置及其沉积方法、废液回收系统通过对废液进行制冷、过滤，在补充化学品原料，从而得到与原液浓度相同的化学液，相比于现有技术，大大地提高了废液的回收利用，降低了生产成本。

主权项

1.一种化学浴沉积装置，包括硫化镉反应槽，其特征在于，所述化学浴沉积装置还包括：废液储存槽、制冷装置、过滤装置、化学液储存槽和补充供药装置；所述废液储存槽的进液口与所述硫化镉反应槽的出液口相连；所述废液储存槽的出液口与所述制冷装置的进液口相连；所述制冷装置的出液口与所述过滤装置的进液口相连；所述过滤装置的出液口与所述化学液储存槽的进液口相连；所述补充供药装置用于向所述化学液储存槽补入化学品；所述化学液储存槽的出液口与所述硫化镉反应槽的进液口相连。