[发明专利]一种基于UV-LIGA技术的微模具制造方法在审
| 申请号： | 201711387043.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108193236A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 郭钟宁;张会寅;邓宇;洪文生;麦文豪;王文兵;朱紫红 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 孙文卉 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于UV‑LIGA技术的微模具制造方法，包括以下步骤：(a)清洗金属基底；(b)烘干金属基底；(c)倒胶；(d)旋涂；(e)前烘；(f)曝光；(g)后烘；(h)银镜镀膜；(i)显影；(j)坚膜；(k)电铸；本发明的镀导电金属膜工序在显影工序之前，有效地避免了微沟槽顶部被沉积的金属堵塞，达到改善微细结构电铸质量的目的，同时不需要昂贵的设备，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 金属基 微模具 电铸 导电金属膜 金属堵塞 微细结构 显影工序 微沟槽 有效地 烘干 倒胶 镀膜 后烘 坚膜 前烘 显影 旋涂 银镜 沉积 制造 清洗 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种基于UV‑LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：清洗并烘干金属基底；步骤二：将适量光刻胶倒在金属基底上后旋涂；步骤三：前烘，烘烤旋涂后的光刻胶；步骤四：曝光，使用光刻机曝光；步骤五：后烘，烘烤曝光后的光刻胶；步骤六：银镜镀膜，将银镜反应液倒在装有光刻工件的容器上配置好，并快速摇匀后迅速将容器放置在热水中静置后取出；步骤七：显影，使用PGMEA有机溶剂进行显影；步骤八：坚膜，对显影后的光刻胶进行烘烤；步骤九：电铸，选择脉冲电源进行电铸。
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