[发明专利]一种串联复合结构双频多振幅压电超声换能器在审
| 申请号： | 201711389271.0 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108176574A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张宏杰;张继昌;黄嘉伟;侯妍妍;黄建;刘梦涛 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于集成电路芯片热超声引线键合封连工艺的串联复合结构双频、多振幅压电超声换能器。该换能器由两组双端辐射压电振子和两个不同放大倍数的二级机械变幅杆组成，可在60kHz或120kHz频率附近工作，提供三种驱动方式，在相同频率简谐激振信号下，能够获得多种振幅输出，以满足集成电路芯片引线键合工艺的不同需求，提高键合连接效率和可靠性。同时该复合结构超声换能器夹持机构采用圆弧形铰链构成的法兰柔性夹持机构，能够有效降低变幅杆轴向超声波传递过程中，夹持机架扰动力矩对超声波传递效率的影响，提高超声能量的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 复合结构 压电超声换能器 集成电路芯片 超声波传递 变幅杆 双频 串联 柔性夹持机构 引线键合工艺 超声换能器 超声能量 超声引线 激振信号 夹持机构 键合连接 驱动方式 扰动力矩 压电振子 换能器 圆弧形 法兰 夹持 键合 铰链 两组 双端 轴向 放大 输出 辐射 应用 | ||
【主权项】：
1.一种串联复合结构双频多振幅压电超声换能器，其特征在于：包括第一压电陶瓷组、第二压电陶瓷组、第一振动杆、第二振动杆和中间振动块，所述第一压电陶瓷组安装在第一振动杆和中间振动块之间，所述第二压电陶瓷组安装在第二振动杆和中间振动块之间，第一压电陶瓷组、第一振动杆、中间振动块、第二压电陶瓷组、第二振动杆依次通过预紧螺栓同轴连接；第一振动杆和第二振动杆的结构不同，具有不同的振幅放大倍数。
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