[发明专利]一种片盒内污染物含量的检测方法

摘要

这是一种集成电路用硅片的送样片盒和包装片盒中金属含量的测试方法。本发明测试的主要目的是通过对片盒进行测试得知其污染物含量从而采取措施防止其对硅片进行污染。本发明首先通过预检的方式对污染物的种类进行确认，然后对污染物性质进行分析，根据污染物的性质和片盒材质性质选择提取液、提取方式和测试仪器进行检测。本发明由于预先对可能含有的污染物进行分析并选择合理的提取液进行提取的方式，既排除了可能由于提取液选择的原因使测试离子氧化而导致的测试元素间相互干扰，又能保证污染物的提取效果，保证了测试的精确性。此外还可以根据片盒材质的不同考虑提取液的选择，并由此保证在测试过程中不会对片盒产生任何损害或产生颗粒污染测试样品，这就确保了测试样品片的使用寿命和测试结果的准确。

主权项

1.一种集成电路用硅片片盒中污染物的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：首先选取两个相同条件下的片盒，进行检测，分别记为测试片盒a和预检片盒b，然后对预检片盒b进行预检来确定污染物α的种类，根据所确定的污染物α的种类、性质选择测试仪器并配置提取液，然后对测试片盒a进行污染物α进行提取；最后利用所选测试仪器对污染物α进行检测，得出精确的测试结果。