[发明专利]一种基于双频激光干涉原理的多自由度精确位移监测系统在审
| 申请号： | 201711389538.6 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108180844A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 孔令豹;周攀宇 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;王洁平 |
| 地址： | 201209 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双频激光干涉原理的多自由度精确位移监测系统。其包括双频激光器、光束调节器、多路双频激光干涉仪和反射角镜；所述多路双频激光干涉仪由相互平行的若干个双频激光干涉仪组成；双频激光器产生的激光通过光束调节器，经过多路双频激光干涉仪后，经反射角镜得到的不同空间位置的多路干涉信号分别通过光纤传输到数据采集卡，再通过计算机对多路干涉信号进行分析，得到每个运动轴中的多自由度的运动误差。本发明的有益效果在于，本发明利用双频激光干涉技术，在提升监测精度的同时，还可以监测更多自由度的误差，为运动轴的精确监控与定位提供了很好的解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 双频激光干涉仪 多路 多自由度 双频激光 位移监测系统 光束调节器 双频激光器 反射角镜 干涉信号 运动轴 干涉 数据采集卡 光纤传输 空间位置 运动误差 监测 平行 激光 监控 计算机 分析 | ||
【主权项】：
1.一种基于双频激光干涉原理的多自由度精确位移监测系统，其特征在于，其包括双频激光器、光束调节器、多路双频激光干涉仪和反射角镜；所述多路双频激光干涉仪由相互平行的若干个双频激光干涉仪组成；双频激光器产生的激光依次经过光束调节器和多路双频激光干涉仪，再经反射角镜得到不同空间位置的多路干涉信号；多路干涉信号分别通过光纤传输到数据采集卡，再通过计算机对多路干涉信号进行分析，得到每个运动轴中的多自由度的运动误差。
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