[发明专利]光罩装载装置和曝光机在审
| 申请号： | 201711392300.9 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108121173A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 黄正;孙飞磊;吴鹏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光罩装载装置和曝光机，所述光罩装载装置与装载主体以挡板相隔，并且包括进气单元和排气单元，在将光罩传输入光罩装载装置后，可利用进气单元对光罩进行吹扫，将可能存在于光罩表面的颗粒排到光罩装载装置外部，从而避免光罩上残留的颗粒带入装载主体。本发明提供的曝光机，包括上述光罩装载装置，可以避免在光罩装载过程中在曝光机内引入颗粒污染，影响曝光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 装载装置 曝光机 装载 进气单元 挡板 光罩表面 颗粒污染 排气单元 曝光效果 吹扫 相隔 残留 传输 外部 引入 | ||
【主权项】：
一种光罩装载装置，用于将光罩转移到一装载主体，其特征在于，包括：腔室，包括腔门和挡板，所述腔门和挡板均为开关装置，所述腔门用于向所述腔室内转移光罩，所述挡板用于将所述腔室与装载主体隔开以及向所述装载主体转移光罩；进气单元，与所述腔室连接，用于向所述腔室通入吹扫气体；排气单元，与所述腔室连接，用于将腔室内的气体排到腔室外部。
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