[发明专利]探针自动监控方法在审
| 申请号： | 201711393083.5 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108132021A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 周波;莫保章;邵雄 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01N21/952 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针自动监控方法，增加了图像识别算法，将探针台通过光学摄像头拍摄到的针尖图像进行识别，实现对探针卡针尖直径的自动量测，同时在测试仪上预先设置正常探针卡针尖照片和针尖直径的规格，可通过图像识别算法判断针尖是否有粘污，一旦判断针尖存在粘污可立即停止测试并向工程师报警，将量测数据与设定的规格进行对比，一旦超出规格则停止测试并向工程师报警。实现了对探针卡针尖直径和针尖粘污的自动监控，同时能够有效避免针尖问题对测试数据的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 自动监控 图像识别算法 停止测试 探针卡 探针 工程师 报警 光学摄像头 测试数据 量测数据 预先设置 针尖图像 正常探针 自动量测 测试仪 探针台 拍摄 | ||
【主权项】：
一种探针自动监控方法，其特征在于，包括：提供探针的设定规格；获取测试时的探针的实际规格；以及利用测试仪开始测试，若实际规格与设定规格不匹配，则停止测试。
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