[发明专利]气体在材料表面吸附和脱附率测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201711393618.9 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108152456B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡国飙;苏杨;吴成赓;翁惠焱;贺碧蛟 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体在材料表面吸附和脱附率测量系统及测量方法，该测量系统包括压强控制箱、抽气系统、待测气体供应系统和可控温QCM测量系统；抽气系统和待测气体供应系统分别通过气体穿舱法兰与压强控制箱连通；可控温QCM测量系统通过QCM穿舱法兰与压强控制箱连接，可控温QCM测量系统包括QCM探头、QCM信号处理器和冷却机，QCM探头中的表面晶片镀有待测金属材料，冷却机通过冷却管路连接QCM探头，用以控制表面晶片的温度，利用该测量系统能够实现在低温、低压条件下气体在材料表面吸附和脱附率的精确测量。该测量方法为利用上述测量系统的测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 测量系统 压强控制 可控温 测量 探头 抽气系统 待测气体 供应系统 冷却机 法兰 晶片 脱附 吸附 信号处理器 低压条件 金属材料 控制表面 冷却管路 率测量 连通 | ||
【主权项】：
1.一种气体在材料表面吸附和脱附率测量系统，其特征在于，包括：压强控制箱、抽气系统、待测气体供应系统和可控温QCM测量系统；/n所述压强控制箱设置有气体穿舱法兰和QCM穿舱法兰；/n所述抽气系统和所述待测气体供应系统分别通过气体穿舱法兰与所述压强控制箱连通；/n所述可控温QCM测量系统通过QCM穿舱法兰与所述压强控制箱连接，所述可控温QCM测量系统包括QCM探头、QCM信号处理器和冷却机，所述QCM探头设置在所述压强控制箱内，所述QCM探头中的表面晶片镀有待测金属材料，所述QCM信号处理器通过QCM信号线与所述QCM探头电连接，用以测量待测物质量变化，所述冷却机通过冷却管路连接QCM探头，用以控制表面晶片的温度。/n
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