[发明专利]具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法

摘要

本发明公开了具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法。包括单模输入波导、调制部分、功能复用部分和反馈控制单元。输入光信号由单模输入波导进入，与具有调制部分和功能复用部分的微环谐振器耦合连接，在调制部分进行调制，经功能复用部分执行光电探测功能时转化为光电流，进入反馈控制单元；反馈信号回到功能复用部分，执行加热功能时对该部分进行加热，完成波长锁定。本发明将微环调制器、光电探测器、加热器集成在同一微环上，完成光电探测器、加热器功能的复用，实现在一定温度范围内对波长的锁定，其器件制作流程与微环调制器制作流程相同，不需要额外工艺制作过程，降低了成本，且具有良好的CMOS工艺兼容性，可大规模集成。

主权项

1.具有功能复用的载流子耗尽型微环谐振器波长锁定方法，其特征在于：包括单模输入波导(1)、调制部分(2)、功能复用部分(3)和反馈控制单元(4)；输入光信号由单模输入波导(1)进入，与具有调制部分(2)和功能复用部分(3)的微环谐振器耦合连接，在调制部分(2)进行调制，经功能复用部分(3)执行光电探测功能时转化为光电流，进入反馈控制单元(4)，反馈信号回到功能复用部分(3)，在功能复用部分(3)执行加热功能时对功能复用部分(3)进行加热，完成输入光信号的波长锁定。