[发明专利]一种激光空化辅助掩膜电解加工装置在审
| 申请号： | 201711395429.5 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108127201A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 刘桂贤;黄榕;张永俊;陈莹怡;陈龙 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光空化辅助掩膜电解加工装置，包括从上到下设置的激光发射部件、分束器、聚光透镜、透光部件、阴极模板和绝缘掩膜板，绝缘掩膜板与阴极模板的通孔对齐设置在阴极模板底部，工件阳极设置在绝缘掩膜板底部，透光部件和工件阳极之间形成密封空间，内填充有电解液，激光发射部件发射的激光经分束器分光后，由聚光透镜在工件阳极的待加工孔的正上方的电解液中聚集并诱导形成空化泡，空化泡溃灭形成的流体冲击并去除待加工孔内的钝化膜。通过激光诱导形成空化泡，利用空化泡溃灭形成高能量微流体的作用，促进加工区电解液的流动和冲击加工区钝化膜，实现电解产物的及时排出与钝化膜的均匀去除。 | ||
| 搜索关键词： | 空化 工件阳极 阴极模板 电解液 钝化膜 掩膜板 绝缘 电解加工装置 激光发射部件 待加工孔 辅助掩膜 激光空化 聚光透镜 透光部件 分束器 去除 冲击加工 从上到下 电解产物 对齐设置 激光诱导 流体冲击 密封空间 高能量 加工区 微流体 分光 排出 通孔 填充 诱导 激光 发射 流动 | ||
【主权项】：
一种激光空化辅助掩膜电解加工装置，其特征在于，包括从上到下设置的激光发射部件、分束器、聚光透镜、透光部件、阴极模板和绝缘掩膜板，所述绝缘掩膜板设置在所述阴极模板底部，且与所述阴极模板的通孔对应设置，工件阳极设置在所述绝缘掩膜板底部，所述透光部件、所述工件阳极和所述透光部件形成密封空间，所述密封空间内填充有电解液，所述激光发射部件发射的激光经所述分束器分光后，由所述聚光透镜在分束后的所述激光经所述透光部件、所述阴极模板通孔，在所述工件阳极的待加工孔的正上方的电解液中聚集并诱导形成空化泡，所述空化泡溃灭形成的流体冲击并去除所述待加工孔内的钝化膜。
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