[发明专利]制备铟靶材的方法

摘要

本发明提供了一种制备铟靶材的方法，其包括步骤：检查背板；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成铟靶材；将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。 1

主权项

1.一种制备铟靶材的方法，其特征在于，包括步骤：

检查背板并清洁背板的外表面；

将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；

将挡板固定于背板的上表面的四周缘以形成由背板和挡板围成的上端开口的容置腔；

设定可控温平板加热炉的温度为预热温度以预热背板；

将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；

将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；

将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；

使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；

在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成下层为背板、上层为固体铟的铟靶材；

待铟液固化后将挡板松开并移除，将铟靶材取出；

将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；

对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。

2.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，所述制备铟靶材的方法还包括步骤：

在检查背板并清洁背板的外表面之后在背板的上表面的四周缘粘贴高温胶带。

3.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，所述制备铟靶材的方法还包括步骤：

将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中之前，用丝刷蘸取铟液平铺在背板的位于挡板区域内的上表面上并用丝刷来回均匀刷于背板的上表面以使铟液均匀平铺在背板的表面以形成一层致密薄膜层。

4.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，所述制备铟靶材的方法还包括步骤：

将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔后，开启设置在可控温平板加热炉上的超声波震动装置，超声波震动装置的震动头按照设定的程序沿横向和竖向运动，以使铟液分布均匀。

5.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，所述制备铟靶材的方法还包括步骤：

将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除后，对成型好的铟靶材在不同位置进行取样检测，以检测铟靶材的杂质含量及晶粒尺寸。

6.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，清洁背板的外表面包括步骤：

先机械抛光再手动抛光来清洁背板，以使背板外表面的氧化层及其它杂质被清理掉；

再用无尘纸蘸取无水乙醇擦拭背板的外表面；

最后采用气体吹扫背板的外表面，以清理背板外表面上残留的粉尘。

7.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，所述制备铟靶材的方法还包括步骤：

铟锭样品在加入可控温熔料浇注炉之前，抽样检查铟锭样品中的铟含量及杂质含量。

8.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，背板为铜背板或铝背板。

9.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，可控温平板加热炉设定的预热温度为165℃‑250℃。

10.根据权利要求1所述的制备铟靶材的方法，其特征在于，可控温熔料浇注炉设定的加热温度为165℃‑250℃。