[发明专利]硫化锌或硒化锌球罩的制备设备

摘要

本发明提供了一种硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其包括化学气相沉积炉、抽真空装置、第一载气源以及第二载气源。化学气相沉积炉包括：沉积室；坩埚，用于盛放固态锌源，位于沉积室下方并与沉积室连通；凸模衬底，外表面抛光并固定于沉积室中；收尘室，位于沉积室上方并连通沉积室；第一加热器，用于对沉积室进行加热；以及第二加热器，用于对坩埚进行加热。抽真空装置受控连通收尘室。第一载气源受控连通于坩埚。第二载气源受控连通沉积室。凸模衬底的材质为等静压石墨。在根据本发明的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备中，等静压石墨的采用能改善化学气相沉积的形成的球罩的质量和制造过程。 1

主权项

1.一种硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，包括：

化学气相沉积炉，包括：

沉积室；

坩埚，用于盛放固态锌源，位于沉积室下方并与沉积室连通；

凸模衬底，外表面抛光并固定于沉积室中；

收尘室，位于沉积室上方并连通沉积室；

第一加热器，用于对沉积室进行加热；以及

第二加热器，用于对坩埚进行加热并使固态锌源变为熔融锌源和锌蒸汽源；

抽真空装置，受控连通收尘室；

第一载气源，受控连通于坩埚，用于通入第一载气并使第一载气携带锌蒸汽源到沉积室中；以及

第二载气源，受控连通沉积室，用于将携带硫源或硒源的第二载气供给到沉积室中以使第二载气携带的硫源或硒源与第一载气携带的锌蒸汽源在沉积室中反应并沉积到凸模衬底而生长形成硫化锌或硒化锌球罩；

其特征在于，凸模衬底的材质为等静压石墨。

2.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，等静压石墨的粒径不大于15μm。

3.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，等静压石墨的密度大于1.80g/cm³。

4.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，等静压石墨的灰分不大于200ppm。

5.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，第一载气和第二载气相同。

6.根据权利要求5所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，第一载气和第二载气为氩气。

7.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，固态锌源为纯锌，硫源为硫化氢，硒源为硒化氢。

8.根据权利要求1所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，所述硫化锌或硒化锌球罩的制备设备还包括：

尾气处理装置，受控连通于抽真空装置。

9.根据权利要求8所述的硫化锌或硒化锌球罩的制备设备，其特征在于，所述硫化锌或硒化锌球罩的制备设备还包括：

罩体，位于收尘室上方并连通于收尘室；

缓冲罐，位于罩体和抽真空装置之间并连通于收尘室和抽真空装置；

收集罐，位于缓冲罐的下方，并连通于缓冲罐。