[发明专利]一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法

摘要

本发明属于精密测量技术领域，涉及一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法，装置包括：位移传递杠杆、反射镜、激光器及激光器姿态调整；其中位移传递杠杆由测头、支架、交叉簧片组成。本发明提供了一种适用于任意表面法向误差的激光测量装置与方法，既适用于反光曲面的精密测量，也适用于非反光的曲面精密测量。通过一种微位移转换杠杆，将测点位置的微位移量等比例转换成反射镜光斑的微位移量，通过光斑位置的变动来表征零件表面测点位置的变动。该装置的测量精度可达10nm，分辨率可达1nm，具有测量精度高、测量方便、成本低的优点，具有广阔的市场应用前景。

主权项

1.一种测量任意表面法向误差的激光测量装置，其特这在于，包括：微位移传递杠杆、固定座、反射镜、激光器及激光器姿态调整装置、数据采集与显示模块；其中微位移传递杠杆包括测头、簧片支架、交叉簧片；簧片支架通过交叉簧片固定于固定座上，交叉簧片夹角呈90度，簧片支架两端伸出臂间夹角呈90度；簧片支架一端点与测头通过螺纹连接，另一端点与反射镜通过胶粘连接固定；激光射于反光镜上，激光器分别与激光器姿态调整装置和数据采集与显示模块连接；反射镜平面度小于0.5μm，表面粗糙度为λ/20～λ/5；激光器具有温度误差补偿功能。