[发明专利]一种双面研磨机的上盘装置在审
| 申请号： | 201711398693.4 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN107891356A | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 谢光炎 | 申请（专利权）人： | 金岭机床（广州）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B41/02;B24B47/06;B24B47/12;B24B41/047 |
| 代理公司： | 长沙新裕知识产权代理有限公司43210 | 代理人： | 刘熙 |
| 地址： | 湖南省长沙市番*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双面研磨机的上盘装置，包括设有第一驱动装置的机架、设在所述机架上由所述第一驱动装置驱动沿机架上下滑动的运动支架、设在所述运动支架上由第二驱动装置驱动旋转的主轴、通过关节轴承与所述主轴活动连接的上盘组件。本发明自带驱动结构，降低了下传动主体制造加工难度，提高了设备精度。上盘上升下降和加压通过气缸驱动运动支架在线性滑轨上运动实现，解决了传统上盘装置传动不平稳、振动大的问题。上盘装置采用关节轴承结构，使上盘能根据下盘工况自动贴合，有效解决了下盘水平度超差导致上盘下盘贴合不良的问题，提高了加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 研磨机 上盘 装置 | ||
【主权项】：
一种双面研磨机的上盘装置，其特征是包括设有第一驱动装置的机架、设在所述机架上由所述第一驱动装置驱动沿机架上下滑动的运动支架、设在所述运动支架上由第二驱动装置驱动旋转的主轴、通过关节轴承与所述主轴活动连接的上盘组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金岭机床（广州）有限公司，未经金岭机床（广州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711398693.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可提高打磨精度的珩磨头
- 下一篇：晶圆加工装置及其加工方法
