[发明专利]一种立式梯度炉

摘要

本发明提供一种立式梯度炉，包括架体、温度控制仪、反应器和气氛系统，反应器和温度控制仪分别放置在架体的一侧，反应器的上端设置有低温区，反应器的下端设置有高温区，低温区至少被隔断成三个温区且三个温区相互连接成一个整体，高温区被分开为两个独立的温区，气氛系统包括盛样吊篮，盛样吊篮的两端设置有不锈钢的密封法兰，密封法兰上连接有针阀，盛样吊篮的出气口端还设置有气压表，盛样吊篮穿过反应器的每个温区，每个温区内的盛样吊篮上连接有出气管，出气管上设置有膨胀阀，每个温区内设置有FEC陶瓷纤维加热装置。本发明的方案使得炉内反应器温度实现梯度分布且分布均匀、升温速度快和使用温度高，炉体整体控制稳定、节能、寿命长。

主权项

1.一种立式梯度炉，包括架体、温度控制仪、反应器和气氛系统，其特征在于：所述反应器和温度控制仪分别放置在架体的一侧，所述反应器的上端设置有低温区，所述反应器的下端设置有高温区，所述低温区至少被隔断成三个温区且三个温区相互连接成一个整体，所述高温区被分开为两个独立的温区，所述气氛系统包括盛样吊篮，所述盛样吊篮的两端设置有不锈钢的密封法兰，所述密封法兰上连接有针阀，所述盛样吊篮的出气口端还设置有气压表，所述盛样吊篮穿过反应器的每个温区，每个温区内的盛样吊篮上连接有出气管，所述出气管上设置有膨胀阀，每个温区内设置有FEC陶瓷纤维加热装置，所述FEC陶瓷纤维加热装置的电阻丝内嵌在陶瓷管上且陶瓷管均匀布置在各个温区内。