[发明专利]氮铝化钛薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201711402344.5 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108060403B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 江雨仙 | 申请（专利权）人： | 衢州量智科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 韩冰;陈小莲 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州市柯*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及厨具的复合涂层领域，具体公开了一种氮铝化钛薄膜及其制备方法，该制备方法在不同的气氛中依次在基材上形成第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层，最终得到形成有包括所述第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层的氮铝化钛薄膜的基材。本发明的方法能够去除靶中或沉积薄膜中的污染物，减少氮铝化钛薄膜中缺陷的产生，并且能够提高沉积效率和沉积的均匀性，并且该制备方法简单，易于实现，具有较高的市场应用价值。应用该制备方法制备得到的氮铝化钛薄膜沉积均匀，表面无颗粒等污染缺陷，更适合作为镀膜使用，可以广泛用于锅具、刀具等厨具产品。 | ||
| 搜索关键词： | 氮铝化钛 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氮铝化钛薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)将Ti靶在含有氩气、氢气和氮气的混合气体的气氛中对基材进行反应溅射，以在基材上形成第一扩散层；(2)将Al靶和Ti靶在含有氩气、氢气和氮气的混合气体的气氛中对形成有所述第一扩散层的基材进行反应溅射，以在第一扩散层表面形成第二扩散层；(3)将Al靶和Ti靶在含有氩气和氮气的混合气体的气氛中对形成有所述第二扩散层的基材进行反应溅射，以在第二扩散层表面形成第三扩散层，得到形成有包括所述第一扩散层、第二扩散层和第三扩散层的氮铝化钛薄膜的基材；(4)将形成有所述氮铝化钛薄膜的基材于氩气气氛中保温。
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