[发明专利]热解氮化硼坩埚的制备方法

摘要

本申请提供了一种热解氮化硼坩埚的制备方法。所述方法以金刚石线切割的方式代替现有的金刚石砂轮片切割的方式，采用金刚石线单线往复循环切割热解氮化硼坩埚初体的多余部分，直至得到所需尺寸的热解氮化硼坩埚，由于切割的过程不需要震动，因此不仅可以大大降低切割界面的损伤概率，提高热解氮化硼坩埚的质量和合格率，还可以避免随后清洗过程中使用的酸性或碱性液体进入热解氮化硼的层里，从而可以增加热解氮化硼坩埚的使用次数，降低单晶的生长成本。本申请热解氮化硼坩埚的制备方法所需设备简单，易操作，生产成本低。

主权项

1.一种热解氮化硼坩埚的制备方法，其特征在于，包括步骤：S1，将含氮的气体和气态卤化硼通过化学气相沉积法沉积于基底上，脱模后得到热解氮化硼坩埚初体；S2，将热解氮化硼坩埚初体置于金刚石线切割机的基座上进行单线切割，热解氮化硼坩埚初体与金刚石线接触时开始进行切割，热解氮化硼坩埚初体离开金刚石线后，切割结束，得到所需尺寸的热解氮化硼坩埚。