[发明专利]包括有硬质材料涂层的抗反射涂层系统的衬底及制造方法有效

专利信息
申请号: 201711404420.6 申请日: 2017-12-22
公开(公告)号: CN108238726B 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: C·海茵;D·阿皮茨;T·达姆;S·布尔坎 申请(专利权)人: 肖特股份有限公司
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22;C03C17/34;C04B41/50;C04B41/52
代理公司: 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 代理人: 赵飞;郭红丽
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种透明的无机衬底。该衬底包含具有硬质材料涂层的抗反射涂层系统,该硬质材料涂层构成为包含铝、硅、氮和氧的无定形的透明层。硬质材料层的铝的质量分数大于硬质材料层的硅的质量分数,且硬质材料层的氮的质量分数大于氧的质量分数。此外,本发明涉及这种经涂覆的衬底的制造方法。
搜索关键词: 包括 硬质 材料 涂层 反射 系统 衬底 制造 方法
【主权项】:
1.一种透明的无机衬底,所述衬底包含抗反射涂层系统,所述抗反射涂层系统包括硬质材料涂层,该硬质材料涂层形成为包含铝、硅、氮和氧的无定形的透明层,其中,所述硬质材料层的铝的质量分数大于所述硬质材料层的硅的质量分数,且所述硬质材料层的氮的质量分数大于所述硬质材料层的氧的质量分数。
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